工業(yè)等離子光催化廢氣處理采用高壓發(fā)生器產生并形成低溫等離子體，在平均能量大約在5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的廢氣成分苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室（PRC）。反應室內每根管子的中間有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節(jié)高壓，高壓導通道管子里的冠狀電線上，由電線至管壁產生放電現象。

工業(yè)等離子光催化廢氣處理優(yōu)點：

①能耗低，可在室溫下與催化劑反應，無需加熱，極大地節(jié)約了能源；

②使用便利，設計時可以根據風量變化以及現場條件進行調節(jié)；

③不產生副產物，催化劑可選擇性地降解等離子體反應中所產生的副產物；

④不產生放射物；

⑤尤其適于處理有氣味及低濃度大風量的氣體。

當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產物和熱。